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| 本發(fā)明公開了屬于微電子機(jī)械領(lǐng)域的一種基于壓電懸臂梁和柔性薄膜的液體噴頭。其主要結(jié)構(gòu)包括壓電懸臂梁、柔性薄膜、微槽道、微噴孔；在液體噴射結(jié)構(gòu)外表面設(shè)置與微槽道相通的微噴孔，柔性薄膜覆蓋于微槽道的頂部，含有壓電薄膜層及其上、下電極的壓電懸臂梁在微槽道頂部柔性薄膜的外部平行放置或與柔性薄膜的夾角為銳角，作為微槽道中液體噴射的驅(qū)動(dòng)器。降低了對(duì)懸臂梁表面絕緣介質(zhì)層的性能要求。柔性的有機(jī)薄膜在壓電懸臂梁的驅(qū)動(dòng)下能發(fā)生較大的形變；同時(shí)，防止微槽道中的液體通過懸臂梁周邊的縫隙上下流動(dòng)，能更有效地驅(qū)動(dòng)更多液體從微噴孔中噴出，提高了液體噴射結(jié)構(gòu)的工作效率和可靠性。 |
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一種基于壓電懸臂梁和柔性薄膜的液體噴頭
一種基于壓電懸臂梁和柔性薄膜的液體噴頭，主要結(jié)構(gòu)包括壓電懸臂梁、柔性薄膜、微槽道、微噴孔；其特征在于，在噴頭外表面設(shè)置與微槽道相通的微噴孔，柔性薄膜覆蓋于微槽道的頂部，含有壓電薄膜層及其上、下電極的壓電懸臂梁在微槽道頂部柔性薄膜的外部平行放置或與柔性薄膜的夾角為銳角，作為微槽道中液體噴射的驅(qū)動(dòng)器；上述與微槽道相通的微噴孔、微槽道、微槽道頂部的柔性薄膜、壓電懸臂梁相結(jié)合構(gòu)成液體噴射結(jié)構(gòu)；在電壓的驅(qū)動(dòng)下，壓電懸臂梁發(fā)生偏轉(zhuǎn)形變，驅(qū)動(dòng)微槽道頂部的柔性薄膜發(fā)生形變，從而改變微槽道的體積，將微槽道中的液體從與微槽道相通的微噴孔中噴出。
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| 專利號(hào): |
200810113027 |
| 申請(qǐng)日: |
2008年5月27日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月29日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請(qǐng)人/專利權(quán)人: |
劉淑芹 |
| 國家/省市: |
北京(11) |
| 郵編: |
100084 |
| 發(fā)明/設(shè)計(jì)人: |
劉淑芹 |
| 代理人: |
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| 專利代理機(jī)構(gòu): |
() |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: |
() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號(hào): |
101293234 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號(hào): |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
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| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
2 |
| 頁數(shù): |
7 |
| 權(quán)利要求項(xiàng)數(shù): |
2 |
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