AMEC直流電源維修 PDB30-80/500-T380 半導體電源維修
20年專注AMEC直流電源維修 半導體電源維修 中微半導體電源維修維修范圍:半導體、刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統,工業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源,烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源,直流偏壓和硬鍍膜,信息設備(ITE)及輕工業系統、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修,為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源,包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。主要服務于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、技術研究所等設備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網絡RF Match、直流電源DC POWER、溫度控制器Thermo Chiller,微波發生器等,提供設備維護維修保養整包、批量產品維修。RF MATCH用于提供穩定的高頻電源,其工作頻率范圍在13.56MHz到27.12MHz之間。如果這個設備出現故障,將會對整個系統產生災難性的影響,會導致整個系統崩潰。當這個設備出現故障時,需要盡快進行維修,以確保整個系統的正常運行。