一、核心功能與測(cè)試原理
1.1 核心測(cè)試能力
四探針?lè)ǎ▽S弥尉撸?#8204;:通過(guò)四個(gè)獨(dú)立探針(間距可設(shè)),無(wú)損測(cè)量片狀/塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層、導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電玻璃的電阻(R)、方塊電阻(Rsq)、電阻率(ρ)及電導(dǎo)率(σ),有效消除接觸電阻和測(cè)試線電阻干擾,適合評(píng)估材料本征電學(xué)性能。
開爾文法(四端測(cè)試夾):用專用開爾文測(cè)試夾直接測(cè)量電阻器、引線、連接器、繼電器觸點(diǎn)等分立元件的直流電阻(R),滿足精密電阻、保險(xiǎn)絲、電機(jī)繞組等高精度產(chǎn)品測(cè)試需求。
1.2 核心工作原理與技術(shù)創(chuàng)新
四探針原理:外側(cè)兩探針施加恒定電流(I),測(cè)量?jī)?nèi)側(cè)兩探針間電位差(V),結(jié)合幾何修正因子(探針間距、樣品厚度/尺寸)計(jì)算電阻率或方塊電阻,避免電流與電壓測(cè)量點(diǎn)共用誤差。
雙電測(cè)與OVC補(bǔ)償:一次測(cè)量中執(zhí)行兩次子測(cè)量:施加電流測(cè)總電壓(V1=V_被測(cè)電阻+V_熱電勢(shì)),不施加電流測(cè)熱電勢(shì)(V2=V_熱電勢(shì)),通過(guò)(V1-V2)自動(dòng)消除金屬接觸熱電勢(shì)及儀器偏置電壓,是毫歐級(jí)以下電阻測(cè)量精度的關(guān)鍵(顯示“OVC”標(biāo)識(shí))。
溫度補(bǔ)償與換算:支持溫度探頭接口,可將電阻值換算至基準(zhǔn)溫度(如20°C),消除環(huán)境溫度波動(dòng)影響;支持基于初始電阻和溫度計(jì)算溫升(符合JIS C4034-1標(biāo)準(zhǔn),如銅k值235)。
二、技術(shù)規(guī)格深度解析
2.1 測(cè)量性能
超寬范圍:覆蓋0.1 µΩ ~ 200 MΩ(四探針?lè)ǎ┘?.1 µΩ ~ 200 Ω(開爾文法)。
精度與分辨率:小分辨率0.1 µΩ,整機(jī)相對(duì)誤差≤±1%,標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤±1%。
測(cè)試速度:小周期2.2毫秒,支持多檔位(中速/慢速1/慢速2),高5次/秒,滿足在線高速分選。
測(cè)試電流:1 µA ~ 1 A可調(diào),支持“大電流(High)”或“小電流(Low)”模式,避免材料過(guò)熱損壞。
2.2 智能化操作與顯示
界面與顯示:采用3.5英寸/4.3英寸高分辨率TFT彩色觸摸屏,可同時(shí)顯示電阻、方塊電阻、電阻率、溫度、分選結(jié)果等參數(shù)。
智能功能:支持10組自定義測(cè)試面板存儲(chǔ)、全量程自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)電流換向、自動(dòng)量程切換、自動(dòng)厚度修正。
2.3 分選與外部控制
分選功能:內(nèi)置智能比較器,支持HI/IN/LO三檔分選,可擴(kuò)展至10檔(BIN0-BIN9),自動(dòng)判斷合格與否并提示。
通信接口:標(biāo)配RS232/485、LAN、USB、Handler I/O接口,支持SCPI指令遠(yuǎn)程控制,集成自動(dòng)化產(chǎn)線(ATE)與MES系統(tǒng)。
2.4 配置
標(biāo)準(zhǔn)配置:主機(jī)、開爾文測(cè)試線、測(cè)溫探頭、直排/矩形四探針、說(shuō)明書等。
可選配件:專用測(cè)試臺(tái)、定制探針夾具、高精度測(cè)厚儀聯(lián)用方案、上位機(jī)數(shù)據(jù)分析軟件。
三、適用行業(yè)與典型應(yīng)用場(chǎng)景
3.1 半導(dǎo)體與集成電路
晶圓與薄膜:測(cè)量硅片、砷化鎵襯底電阻率;監(jiān)控金屬濺射層(Al、Cu)、ITO薄膜方塊電阻,把控鍍膜工藝均勻性。
封裝與互連:檢測(cè)鍵合線、引線框架、封裝基板導(dǎo)電性,確保芯片電連接可靠性。
3.2 新能源與電力電子
太陽(yáng)能光伏:測(cè)量電池金屬柵線電阻、背電極電阻、透明導(dǎo)電層方塊電阻,影響填充因子與轉(zhuǎn)換效率。
鋰離子電池:評(píng)估集流體(銅箔/鋁箔)電阻、導(dǎo)電涂層附著力與電阻,優(yōu)化電池內(nèi)阻與倍率性能。
電力傳輸:檢測(cè)接觸器觸點(diǎn)、斷路器觸頭、母線排連接電阻,預(yù)防過(guò)熱故障。
3.3 新材料研發(fā)
納米與二維材料:表征石墨烯、碳納米管薄膜、MXene的方塊電阻與電導(dǎo)率,為器件應(yīng)用提供數(shù)據(jù)。
功能涂層:測(cè)試電磁屏蔽、抗靜電、發(fā)熱體用金屬涂層、導(dǎo)電高分子涂層、陶瓷金屬?gòu)?fù)合涂層的電阻特性。
3.4 精密元器件與航空航天
元器件:高速測(cè)量片式電阻、繼電器觸點(diǎn)電阻,實(shí)現(xiàn)精密分檔;檢測(cè)應(yīng)變片、熱敏電阻初值電阻。
航空航天:測(cè)試飛機(jī)雷擊防護(hù)/隱身涂層的表面電阻與屏蔽效能;無(wú)損評(píng)估焊接/壓接工藝的連接電阻質(zhì)量。
四、標(biāo)準(zhǔn)化操作與維護(hù)
4.1 安全操作
環(huán)境:0-40°C,濕度≤80%RH,避免陽(yáng)光直射、粉塵、強(qiáng)電磁場(chǎng);電源可靠接地,使用標(biāo)配測(cè)試線。
4.2 測(cè)試流程
準(zhǔn)備:開機(jī)預(yù)熱,連接四探針/開爾文夾,設(shè)置探針參數(shù)(間距)或樣品參數(shù)(厚度)。
參數(shù)設(shè)置:選擇量程(自動(dòng)/手動(dòng))、測(cè)試速度、溫度補(bǔ)償、OVC功能、比較器上下限。
短路調(diào)零:短路測(cè)試夾/探針,按下[0.ADJ]鍵消除系統(tǒng)殘余誤差。
測(cè)量:放置樣品,按[START/TRG]鍵觸發(fā),儀器自動(dòng)完成電流換向、計(jì)算與分選判定。
數(shù)據(jù)記錄:屏幕讀取或通過(guò)接口上傳至上位機(jī);結(jié)束后取下樣品,關(guān)閉電源。
4.3 維護(hù)與校準(zhǔn)
日常維護(hù):保持設(shè)備清潔干燥,避免測(cè)試線過(guò)度彎折;長(zhǎng)期不用定期通電,水冷后排空管路積水。
校準(zhǔn):支持自校準(zhǔn)(偏置與增益),建議每年送計(jì)量機(jī)構(gòu)檢定,全國(guó)范圍一次過(guò)檢,精度保證期一年。
材料超低電阻及電阻率測(cè)試儀
數(shù)量(件)
價(jià)格(元/件)
- 發(fā)布時(shí)間:[2026-01-21 15:39]
- 產(chǎn)地:北京>北京市>石景山區(qū)
- 公司名稱:北京北廣精儀儀器設(shè)備有限公司高壓漏電起痕試驗(yàn)儀
- 聯(lián)系人:王春婷
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